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Les plasmas, pour un meilleur environnement |
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Détoxication d'effluents industriels par procédé plasmas |
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Les industries de microélectronique emploie dans leur recette de fabrication une grande quantité de gaz perfluorés, tel le SF6, qui sont nuisibles à l'environnement. En collaboration avec la compagnie Air Liquide, le groupe de physique des plasmas a mis au point un système de destruction de gaz à effet de serre par plasma d'onde de surface à la pression atmosphérique. De tels systèmes sont maintenant implantés sur des lignes de microfabrication en Europe. |
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